Time and energy resolved IEDFs as well as time averaged energy resolved IEDFs
25 files in this archive
- iedf/
- iedf/270-meta.json
- iedf/269-iedf_ta.csv
- iedf/279-meta.json
- iedf/277-meta.json
- iedf/278-meta.json
- iedf/278-iedf_ta.csv
- iedf/281-iedf.csv
- iedf/274-iedf.csv
- iedf/281-iedf_ta.csv
- iedf/274-meta.json
- iedf/278-iedf.csv
- iedf/270-iedf.csv
- iedf/269-iedf.csv
- iedf/274-iedf_ta.csv
- iedf/279-iedf.csv
- iedf/270-iedf_ta.csv
- iedf/275-iedf.csv
- iedf/277-iedf_ta.csv
- iedf/275-iedf_ta.csv
- iedf/277-iedf.csv
- iedf/279-iedf_ta.csv
- iedf/281-meta.json
- iedf/269-meta.json
- iedf/275-meta.json
Resource Quantity:
Resource Datatype: