length	density O2b	density O2b	density O2b	density O2b	length	density O2b	length	density O2b
	1 sccm	2 sccm	3 sccm	5 sccm		8 sccm		10 sccm
0	10000000000	10000000000	10000000000	10000000000	0	10000000000	0	10000000000
1.87463744144343E-4	6.77693159696494E18	1.57825128659179E19	2.53392659504733E19	4.14278127380944E19	1.8877467941808E-4	5.6683954220725E19	1.89149232353433E-4	6.48529250836847E19
3.74927488288687E-4	1.34973815443281E19	3.10340328364748E19	4.93252233830883E19	8.10290213555692E19	3.7754935883616E-4	1.09324646427063E20	3.78298464706867E-4	1.24067806680553E20
5.6239123243303E-4	2.00683093122761E19	4.57126438094583E19	7.20185241587857E19	1.17978488040935E20	5.6632403825424E-4	1.59077458610043E20	5.674476970603E-4	1.79558568135501E20
7.49854976577374E-4	2.64912870760776E19	5.98667153527685E19	9.36309468148231E19	1.52650232020434E20	7.5509871767232E-4	2.06545703533773E20	7.56596929413733E-4	2.32173878617099E20
9.37318720721717E-4	3.2773316686373E19	7.35514900463175E19	1.14313609891531E20	1.85381061738696E20	9.438733970904E-4	2.5182239372249E20	9.45746161767167E-4	2.81998430918762E20
0.00112478246486606	3.89207589624979E19	8.6805281884698E19	1.34156862186946E20	2.16350724155806E20	0.00113264807650848	2.94842929516525E20	0.0011348953941206	3.28918476431734E20
0.0013122462090104	4.49390247122167E19	9.9655098544762E19	1.53219412878329E20	2.45649465417468E20	0.00132142275592656	3.35444764404136E20	0.00132404462647403	3.72752735556556E20
0.00149970995315475	5.0831982454992E19	1.12119776562271E20	1.71539112296297E20	2.73330039490302E20	0.00151019743534464	3.73318313427483E20	0.00151319385882747	4.13317509800073E20
0.00168717369729909	5.66033084797437E19	1.24213319718846E20	1.89139845707868E20	2.99423517135622E20	0.00169897211476272	4.08169154466948E20	0.0017023430911809	4.50454483117972E20
0.00187463744144343	6.22512527203987E19	1.35946401321519E20	2.06040079177788E20	3.23949333320713E20	0.0018877467941808	4.39951284236655E20	0.00189149232353433	4.84050875759582E20
0.00206210118558778	6.77360859310548E19	1.47326707043128E20	2.22252979519985E20	3.46923960125074E20	0.00207652147359888	4.68674674826316E20	0.00208064155588777	5.14045081534432E20
0.00224956492973212	7.3053735431553E19	1.58360030555954E20	2.37788039639095E20	3.68366024630278E20	0.00226529615301696	4.94374538703596E20	0.0022697907882412	5.4043059139288E20
0.00243702867387646	7.82153951203766E19	1.69050932656644E20	2.52653044134419E20	3.88298191470386E20	0.00245407083243504	5.1711691229747E20	0.00245894002059463	5.63255226725438E20
0.00262449241802081	8.32282329932163E19	1.79403586747051E20	2.66855845127522E20	4.06750640500691E20	0.00264284551185312	5.36994830781802E20	0.00264808925294807	5.82602459860722E20
0.00281195616216515	8.80995087280828E19	1.8942149724512E20	2.80405035552234E20	4.23757857673075E20	0.0028316201912712	5.54125522259291E20	0.0028372384853015	5.98320037785481E20
0.00299941990630949	9.28359660980132E19	1.99108196302572E20	2.93309393350456E20	4.39362078910986E20	0.00302039487068928	5.68647749736551E20	0.00302638771765493	6.10533125621907E20
0.00318688365045384	9.74432030718484E19	2.0846708158488E20	3.05579212390361E20	4.5361241362299E20	0.00320916955010736	5.8070548193973E20	0.00321553695000837	6.1994152531538E20
0.00337434739459818	1.01926392474394E20	2.17501728098756E20	3.17226744237818E20	4.66565896794335E20	0.00339794422952544	5.90456414336607E20	0.0034046861823618	6.26569121817728E20
0.00356181113874252	1.06290460567441E20	2.26216181656456E20	3.28265054745849E20	4.78270480276592E20	0.00358671890894352	5.98066296063969E20	0.00359383541471523	6.3055663074623E20
0.00374927488288687	1.10539351195235E20	2.34614970613629E20	3.3870906021324E20	4.88794093151346E20	0.0037754935883616	6.03699492235559E20	0.00378298464706867	6.32109072204319E20
0.00393673862703121	1.14677364067508E20	2.42702797179607E20	3.48574815125951E20	4.98189698808656E20	0.00396426826777968	6.07519455685233E20	0.0039721338794221	6.31457595117326E20
0.00412420237117555	1.18707800782574E20	2.50484083195611E20	3.57879635077916E20	5.06527815491205E20	0.00415304294719776	6.09685892585068E20	0.00416128311177553	6.2883182198285E20
0.0043116661153199	1.22634004023795E20	2.57965719825321E20	3.6664167294472E20	5.13867438494809E20	0.00434181762661584	6.10347248303609E20	0.00435043234412897	6.24454288726961E20
0.00449912985946424	1.26458895451875E20	2.65152124992684E20	3.74880546130839E20	5.20273335587075E20	0.00453059230603392	6.09656212073308E20	0.0045395815764824	6.18536404197312E20
0.00468659360360858	1.30185144167672E20	2.7205095361374E20	3.82616133259974E20	5.25808267909669E20	0.004719366985452	6.07746222741467E20	0.00472873080883583	6.11284497979422E20
0.00487405734775293	1.33815522122166E20	2.78668567065478E20	3.89867040341501E20	5.30529842570541E20	0.00490814166487008	6.04748686155009E20	0.00491788004118927	6.0287616662102E20
0.00506152109189727	1.37352184074521E20	2.85011709506301E20	3.96655341743873E20	5.34498576554784E20	0.00509691634428816	6.00786470434879E20	0.0051070292735427	5.93482633303585E20
0.00524898483604161	1.40797931119407E20	2.91089029018824E20	4.03000398681293E20	5.37764739952383E20	0.00528569102370624	5.95967758125421E20	0.00529617850589613	5.8326359938324E20
0.00543644858018596	1.44155011631746E20	2.96906949329288E20	4.08923095748821E20	5.40383882442484E20	0.00547446570312432	5.90398666019931E20	0.00548532773824957	5.72295392260356E20
0.0056239123243303	1.47425610347494E20	3.02474113667974E20	4.14444301127189E20	5.42411899968915E20	0.0056632403825424	5.84173986451404E20	0.005674476970603	5.60772097718226E20
0.00581137606847464	1.50612170382304E20	3.0778935240878E20	4.19584028768416E20	5.43883106693751E20	0.00585201506196048	5.77380623211023E20	0.00586362620295643	5.48847963920018E20
0.00599883981261899	1.53716556803588E20	3.12852139479152E20	4.24361847425087E20	5.4485458423562E20	0.00604078974137856	5.7010148694582E20	0.00605277543530987	5.36594805837468E20
0.00618630355676333	1.56741135728042E20	3.17687571705881E20	4.2879809342966E20	5.45364704678224E20	0.00622956442079664	5.62410219848086E20	0.0062419246676633	5.24068436545437E20
0.00637376730090767	1.59687851266106E20	3.22237152903857E20	4.32909894910047E20	5.45446692226735E20	0.00641833910021472	5.54374790647558E20	0.00643107390001673	5.11441290039951E20
0.00656123104505202	1.62558771165793E20	3.26556461910384E20	4.36717208040036E20	5.45149193714895E20	0.0066071137796328	5.4605968880599E20	0.00662022313237017	4.98830488529558E20
0.00674869478919636	1.65355968261657E20	3.30653268520414E20	4.40260747051698E20	5.44491748905932E20	0.00679588845905088	5.37512667033767E20	0.0068093723647236	4.86143760114559E20
0.0069361585333407	1.68081317939175E20	3.34558585763508E20	4.43532536087703E20	5.43514385889006E20	0.00698466313846896	5.28757116641885E20	0.00699852159707703	4.7355517260074E20
0.00712362227748505	1.70736902112317E20	3.38269988449224E20	4.46524782009467E20	5.42249326531477E20	0.00717343781788704	5.19879236481429E20	0.00718767082943047	4.61149496604842E20
0.00731108602162939	1.73324204759967E20	3.41793126702218E20	4.49305201922931E20	5.40713002225172E20	0.00736221249730512	5.10938863062694E20	0.0073768200617839	4.48925251849056E20
0.00749854976577373	1.75845434202375E20	3.45132550179247E20	4.5185423277663E20	5.38941363007575E20	0.0075509871767232	5.01995829316888E20	0.00756596929413733	4.36881012661357E20
0.00768601350991808	1.78302576610286E20	3.4829563869371E20	4.54165714664983E20	5.36948940558811E20	0.00773976185614128	4.92978940010703E20	0.00775511852649077	4.25116810111933E20
0.00787347725406242	1.80697594040742E20	3.51292419121721E20	4.56313023696259E20	5.34757590610737E20	0.00792853653555936	4.83995063068608E20	0.0079442677588442	4.13679799321548E20
0.00806094099820676	1.83032401473186E20	3.54127308598592E20	4.58260517557465E20	5.3239712355528E20	0.00811731121497744	4.75087817129858E20	0.00813341699119763	4.02491179517677E20
0.00824840474235111	1.85308008891165E20	3.56812306517104E20	4.6001591283248E20	5.29885081645038E20	0.00830608589439552	4.66300820833708E20	0.00832256622355107	3.91636959906352E20
0.00843586848649545	1.87526806118006E20	3.59355054909037E20	4.61635049186132E20	5.27225416350256E20	0.0084948605738136	4.57572766393811E20	0.0085117154559045	3.81147303822081E20
0.00862333223063979	1.89690659068475E20	3.61762905254095E20	4.63088609842265E20	5.24447378955914E20	0.00868363525323168	4.48952221457567E20	0.00870086468825793	3.70990500156353E20
0.00881079597478414	1.9180143365734E20	3.64043954538889E20	4.64384326995322E20	5.2157082463785E20	0.00887240993264976	4.40482463472747E20	0.00889001392061137	3.61156340967698E20
0.00899825971892848	1.93860790099354E20	3.66204062288576E20	4.65554780657538E20	5.18589986601191E20	0.00906118461206784	4.32190391416054E20	0.0090791631529648	3.51690865446951E20
0.00918572346307282	1.95869415945032E20	3.68251545415305E20	4.66600087743277E20	5.15530056366565E20	0.00924995929148592	4.24043927379052E20	0.00926831238531823	3.42609210735703E20
0.00937318720721717	1.9782972539311E20	3.70194411342234E20	4.67530507998125E20	5.12406356499831E20	0.009438733970904	4.16044278085527E20	0.00945746161767167	3.33888075645131E20
0.00956065095136151	1.9974344645197E20	3.72040400475292E20	4.68354806332071E20	5.09222098004211E20	0.00962750865032208	4.08228912720141E20	0.0096466108500251	3.25481454964726E20
0.00974811469550585	2.01612307129993E20	3.73790906366835E20	4.69072476174339E20	5.0598526114664E20	0.00981628332974016	4.0061199927947E20	0.00983576008237853	3.17427569887844E20
0.0099355784396502	2.03437622104892E20	3.75453583975042E20	4.69697633559611E20	5.02711432330117E20	0.0100050580091582	3.93182722064814E20	0.010024909314732	3.09727858032976E20
0.0101230421837945	2.05219980785024E20	3.77036179880004E20	4.70238948061812E20	4.99408372290162E20	0.0101938326885763	3.85923051298248E20	0.0102140585470854	3.02368425713356E20
0.0103105059279389	2.06961666906416E20	3.78545337066149E20	4.70704778847369E20	4.96075921704678E20	0.0103826073679944	3.78859528318132E20	0.0104032077794388	2.95293645079387E20
0.0104979696720832	2.0866424722379E20	3.79980555235522E20	4.7108849472235E20	4.92727818680884E20	0.0105713820474125	3.71998377387639E20	0.0105923570117923	2.88525971074116E20
0.0106854334162276	2.10329288491867E20	3.81347470990522E20	4.71404166703134E20	4.89372709534344E20	0.0107601567268306	3.65332355311904E20	0.0107815062441457	2.82057361409126E20
0.0108728971603719	2.11957706870158E20	3.82653065742044E20	4.71658484355724E20	4.85993701164486E20	0.0109489314062486	3.5883020665714E20	0.0109706554764991	2.7587748788156E20
0.0110603609045163	2.13550112708447E20	3.83902636206121E20	4.71858137246121E20	4.82613120932551E20	0.0111377060856667	3.52520092209351E20	0.0111598047088526	2.69947565133176E20
0.0112478246486606	2.15108574682686E20	3.8509575192341E20	4.71997657168025E20	4.79238818689038E20	0.0113264807650848	3.46404047655953E20	0.011348953941206	2.64270641570612E20
0.0114352883928049	2.16634484005507E20	3.86236062576146E20	4.72086038861479E20	4.75877963306718E20	0.0115152554445029	3.40484108684362E20	0.0115381031735594	2.58834500765356E20
0.0116227521369493	2.18129231889541E20	3.87329439981065E20	4.72129190739037E20	4.72537723658364E20	0.011704030123921	3.34762310981996E20	0.0117272524059129	2.53626926288896E20
0.0118102158810936	2.19592532119649E20	3.88379998116777E20	4.72132038106137E20	4.69225268616747E20	0.011892804803339	3.29208687880914E20	0.0119164016382663	2.48643079962425E20
0.011997679625238	2.21025018666737E20	3.89384077885739E20	4.72092359641782E20	4.65932985100102E20	0.0120815794827571	3.23817908893768E20	0.0121055508706197	2.438689356985E20
0.0121851433693823	2.22429152751506E20	3.90344956787763E20	4.72014533181338E20	4.62645269696118E20	0.0122703541621752	3.18602058343103E20	0.0122947001029732	2.39292877139604E20
0.0123726071135267	2.23806175353735E20	3.91269552766354E20	4.71903741395337E20	4.59386673531098E20	0.0124591288415933	3.13559145199242E20	0.0124838493353266	2.34903700491296E20
0.012560070857671	2.25157327453204E20	3.92161290678243E20	4.71763648745253E20	4.56161833852616E20	0.0126479035210114	3.0868717843251E20	0.01267299856768	2.30700089940931E20
0.0127475346018153	2.26483850029694E20	3.9302359538016E20	4.71593380463812E20	4.52975387908244E20	0.0128366782004294	3.0398416701323E20	0.0128621478000335	2.2666919784089E20
0.0129349983459597	2.27786984062985E20	3.93859891728835E20	4.71395050716941E20	4.49831972945556E20	0.0130254528798475	2.99414419698168E20	0.0130512970323869	2.22798211304469E20
0.013122462090104	2.29067970532857E20	3.94673604580999E20	4.71173408711979E20	4.46736226212125E20	0.0132142275592656	2.94992826041429E20	0.0132404462647403	2.19076749172216E20
0.0133099258342484	2.30322861846048E20	3.95452774981631E20	4.70931332477065E20	4.43661067901184E20	0.0134030022386837	2.90715112181408E20	0.0134295954970938	2.15494430284676E20
0.0134973895783927	2.31556000843652E20	3.96206707981702E20	4.70671700040335E20	4.40617770706897E20	0.0135917769181018	2.86576785635495E20	0.0136187447294472	2.12040873482396E20
0.0136848533225371	2.32768500259327E20	3.96939903376138E20	4.70391076738523E20	4.37616044104422E20	0.0137805515975198	2.82573353921081E20	0.0138078939618006	2.08720930208847E20
0.0138723170666814	2.33961368652917E20	3.97654810658539E20	4.70094234758246E20	4.34658134915188E20	0.0139693262769379	2.78698325244982E20	0.0139970431941541	2.05538126349918E20
0.0140597808108257	2.35135614584268E20	3.98353879322501E20	4.69783774282757E20	4.31746289960628E20	0.014158100956356	2.74943369660684E20	0.0141861924265075	2.02470337539219E20
0.0142472445549701	2.36292246613223E20	3.99039558861624E20	4.69461866056942E20	4.28882756062171E20	0.0143468756357741	2.71306364411515E20	0.0143753416588609	1.99509423395495E20
0.0144347082991144	2.37432273299627E20	3.99713235299891E20	4.69129782465653E20	4.26065722355474E20	0.0145356503151922	2.6778232113803E20	0.0145644908912144	1.96647243537491E20
0.0146221720432588	2.3855453945976E20	4.00361918638891E20	4.68784990465121E20	4.23276150099843E20	0.0147244249946102	2.64366251480781E20	0.0147536401235678	1.93875657583951E20
0.0148096357874031	2.3965782097879E20	4.00997462899891E20	4.68431763543827E20	4.20529749479878E20	0.0149131996740283	2.61053167080323E20	0.0149427893559212	1.91192371026473E20
0.0149970995315475	2.40745297026028E20	4.01621414300226E20	4.68071680946663E20	4.1782723901702E20	0.0151019743534464	2.57844240354213E20	0.0151319385882747	1.88624614927898E20
0.0151845632756918	2.41817728196878E20	4.02235319057234E20	4.67706321918523E20	4.1516933723271E20	0.0152907490328645	2.54734730027402E20	0.0153210878206281	1.86142923045817E20
0.0153720270198362	2.42875875086746E20	4.02840723388252E20	4.67335469395044E20	4.12556762648389E20	0.0154795237122826	2.5171832153819E20	0.0155102370529815	1.83741820859052E20
0.0155594907639805	2.43920498291035E20	4.03439173510617E20	4.66958698586136E20	4.09990233785499E20	0.0156682983917006	2.48790718195386E20	0.015699386285335	1.8141583384643E20
0.0157469545081248	2.4495235840515E20	4.04029256729923E20	4.66578621810713E20	4.07463793344638E20	0.0158570730711187	2.45947623307802E20	0.0158885355176884	1.79159487486774E20
0.0159344182522692	2.45972216024497E20	4.04605394880342E20	4.66196371423606E20	4.0497592720033E20	0.0160458477505368	2.43185643666688E20	0.0160776847500418	1.76967307258908E20
0.0161218819964135	2.46976710714381E20	4.05174218195383E20	4.65813079779645E20	4.02530535075777E20	0.0162346224299549	2.40517445663685E20	0.0162668339823953	1.7486493271057E20
0.0163093457405579	2.47968429923345E20	4.05736653825153E20	4.65428881572913E20	4.00127634986717E20	0.016423397109373	2.37927023720329E20	0.0164559832147487	1.72836064896616E20
0.0164968094847022	2.48948435993314E20	4.06293628919761E20	4.65043625212737E20	3.97767244948889E20	0.016612171788791	2.35410723005996E20	0.0166451324471021	1.70873370754762E20
0.0166842732288466	2.49917278068803E20	4.06846070629315E20	4.64658062009469E20	3.95449382978031E20	0.0168009464682091	2.32964888690067E20	0.0168342816794556	1.68973634606442E20
0.0168717369729909	2.50875505294325E20	4.07394906103921E20	4.64272861837675E20	3.93174067089881E20	0.0169897211476272	2.30585865941919E20	0.017023430911809	1.67133640773093E20
0.0170592007171352	2.51823666814392E20	4.07937918646308E20	4.63888597042753E20	3.90933200162896E20	0.0171784958270453	2.28269999930931E20	0.0172125801441624	1.6535017357615E20
0.0172466644612796	2.52762311773518E20	4.08474121784326E20	4.6350559713602E20	3.88732203925847E20	0.0173672705064634	2.26013635826481E20	0.0174017293765159	1.63620549545887E20
0.0174341282054239	2.53690972448875E20	4.09006508705591E20	4.63123569944006E20	3.86570974503693E20	0.0175560451858814	2.23813118797949E20	0.0175908786088693	1.61941793745698E20
0.0176215919495683	2.54608158102531E20	4.09535645819113E20	4.62741825299979E20	3.84449274978146E20	0.0177448198652995	2.21678302145258E20	0.0177800278412227	1.60310418075242E20
0.0178090556937126	2.5551606069954E20	4.10062099533904E20	4.6235947701721E20	3.82366868430916E20	0.0179335945447176	2.19611269513154E20	0.0179691770735762	1.58723270556625E20
0.017996519437857	2.56415069960719E20	4.10586436258975E20	4.61975510010588E20	3.80323517943716E20	0.0181223692241357	2.17598932832553E20	0.0181583263059296	1.57177199211952E20
0.0181839831820013	2.57305575606884E20	4.11109222403337E20	4.61589536651567E20	3.78318986598258E20	0.0183111439035538	2.15638613011387E20	0.018347475538283	1.55669052063329E20
0.0183714469261456	2.58187967358852E20	4.11625954679211E20	4.61204932855595E20	3.76353037476252E20	0.0184999185829718	2.13727630957593E20	0.0185366247706365	1.54203469678641E20
0.01855891067029	2.5906263493744E20	4.12138754894279E20	4.60828252680054E20	3.74425433659411E20	0.0186886932623899	2.11863307579103E20	0.0187257740029899	1.5279784398535E20
0.0187463744144343	2.59929968063465E20	4.12649701697482E20	4.60451572504512E20	3.72529694430945E20	0.018877467941808	2.10042963783854E20	0.0189149232353433	1.5142985016787E20
0.0189338381585787	2.60789652066316E20	4.13159204032167E20	4.60074892328971E20	3.70668565348776E20	0.0190662426212261	2.08263920479778E20	0.0191040724676968	1.50097093690449E20
0.019121301902723	2.61641860212793E20	4.13667670841682E20	4.59704127853831E20	3.68842529241228E20	0.0192550173006442	2.0652349857481E20	0.0192932217000502	1.48797180017333E20
0.0193087656468674	2.62486921474407E20	4.14175511069374E20	4.59341207683911E20	3.67051117741498E20	0.0194437919800622	2.04849075677165E20	0.0194823709324036	1.4752771461277E20
0.0194962293910117	2.63325006246871E20	4.14683133658592E20	4.5897828751399E20	3.65293862482788E20	0.0196325666594803	2.03218436378855E20	0.0196715201647571	1.46286302941006E20
0.0196836931351561	2.64156267000914E20	4.15190947552681E20	4.5861536734407E20	3.63570295098297E20	0.0198213413388984	2.01629583467702E20	0.0198606693971105	1.45070550466289E20
0.0198711568793004	2.64980838282275E20	4.15699361694992E20	4.58266641000818E20	3.61879947221224E20	0.0200101160183165	2.00080902577581E20	0.0200498186294639	1.43878062652866E20
0.0200586206234447	2.65798836711706E20	4.1620878502887E20	4.57921800303397E20	3.60222350484769E20	0.0201988906977346	1.98570779342367E20	0.0202389678618174	1.42706444964985E20
0.0202460843675891	2.66610360984969E20	4.16719626497664E20	4.57576959605975E20	3.58597036522132E20	0.0203876653771526	1.97097599395937E20	0.0204281170941708	1.41553302866891E20
0.0204335481117334	2.67415491872839E20	4.17225882299054E20	4.57233706116023E20	3.57001020638003E20	0.0205764400565707	1.95659748372166E20	0.0206172663265242	1.40432333992847E20
0.0206210118558778	2.68214292221104E20	4.17730094942228E20	4.56903265587647E20	3.55434388553747E20	0.0207652147359888	1.94255611904929E20	0.0208064155588777	1.39357527321702E20
0.0208084756000221	2.69006806950562E20	4.18234463246738E20	4.56578231523401E20	3.53897409880572E20	0.0209539894154069	1.92885264602019E20	0.0209955647912311	1.38308176003756E20
0.0209959393441665	2.69793063057024E20	4.18739200554136E20	4.56258603923286E20	3.52389503400081E20	0.021142764094825	1.91548427637E20	0.0211847140235845	1.37283244004918E20
0.0211834030883108	2.70573389750362E20	4.19244520205972E20	4.55944382787302E20	3.50910087893875E20	0.021331538774243	1.90241893476108E20	0.021373863255938	1.36281695291097E20
0.0213708668324551	2.71350489684141E20	4.19750635543794E20	4.55635568115448E20	3.49458582143558E20	0.0215203134536611	1.88964191100586E20	0.0215630124882914	1.35302493828202E20
0.0215583305765995	2.72122245327534E20	4.20257759909153E20	4.55332159907724E20	3.48034404930733E20	0.0217090881330792	1.87713849491676E20	0.0217521617206448	1.34344603582143E20
0.0217457943207438	2.72888726943027E20	4.20766106643599E20	4.55034158164131E20	3.46636975037003E20	0.0218978628124973	1.86489397630622E20	0.0219413109529983	1.33406988518829E20
0.0219332580648882	2.73649992452601E20	4.21275889088682E20	4.54741562884668E20	3.4526571124397E20	0.0220866374919154	1.85289364498664E20	0.0221304601853517	1.32488612604169E20
0.0221207218090325	2.74406087437735E20	4.21787320585951E20	4.54457531978286E20	3.43920420650426E20	0.0222754121713334	1.84112279077046E20	0.0223196094177051	1.31592849384439E20
0.0223081855531769	2.75157045139402E20	4.22300614476956E20	4.54181675380185E20	3.42600581772626E20	0.0224641868507515	1.8295667034701E20	0.0225087586500586	1.30723697665603E20
0.0224956492973212	2.75902886458073E20	4.22810926112715E20	4.53912325862804E20	3.41305399216298E20	0.0226529615301696	1.81835406745109E20	0.022697907882412	1.29874729531717E20
0.0226831130414655	2.76643619953714E20	4.23320278467616E20	4.53649483426144E20	3.40034313588622E20	0.0228417362095877	1.80739072487362E20	0.0228870571147654	1.29045298284392E20
0.0228705767856099	2.77379241845789E20	4.23830202747075E20	4.53393148070203E20	3.38786765496777E20	0.0230305108890058	1.79665596365706E20	0.0230762063471189	1.28234757225243E20
0.0230580405297542	2.78109736013256E20	4.2434076074486E20	4.53143319794983E20	3.37562195547942E20	0.0232192855684238	1.78614061909554E20	0.0232653555794723	1.2744245965588E20
0.0232455042738986	2.78835073994569E20	4.2485201425474E20	4.52899998600484E20	3.36360044349297E20	0.0234080602478419	1.77583552648318E20	0.0234545048118257	1.26667758877915E20
0.0234329680180429	2.7955521498768E20	4.25364025070483E20	4.52663184486704E20	3.3517975250802E20	0.02359683492726	1.76573152111412E20	0.0236436540441792	1.25910008192962E20
0.0236204317621873	2.80271579582006E20	4.25876854985858E20	4.52433140418587E20	3.3402076063129E20	0.0237856096066781	1.7558194382825E20	0.0238328032765326	1.25168560902632E20
0.0238078955063316	2.80985037016247E20	4.26390565794633E20	4.52211913720105E20	3.32883656736701E20	0.0239743842860962	1.74609011328245E20	0.024021952508886	1.24443167238378E20
0.0239953592504759	2.81694138691699E20	4.26905219290575E20	4.51997722316379E20	3.31768739092341E20	0.0241631589655142	1.73657842242326E20	0.0242111017412395	1.23733687220873E20
0.0241828229946203	2.82398918185947E20	4.27420877267454E20	4.51790566207407E20	3.3067434557419E20	0.0243519336449323	1.72732639929163E20	0.0244002509735929	1.23038952119922E20
0.0243702867387646	2.83099402646383E20	4.27937601519037E20	4.5159044539319E20	3.29600002053082E20	0.0245407083243504	1.71826445927272E20	0.0245894002059463	1.2235835195941E20
0.024557750482909	2.83795612790206E20	4.28452912348425E20	4.51397359873727E20	3.28545234399852E20	0.0247294830037685	1.70938630104369E20	0.0247785494382998	1.21691276763223E20
0.0247452142270533	2.8448756290442E20	4.28967842532905E20	4.5121130964902E20	3.27509568485335E20	0.0249182576831866	1.70068562328168E20	0.0249676986706532	1.21037116555247E20
0.0249326779711977	2.85175260845838E20	4.29483070371753E20	4.51032294719067E20	3.26492530180363E20	0.0251070323626046	1.69215612466384E20	0.0251568479030066	1.20395261359367E20
0.025120141715342	2.85858708041079E20	4.2999858283888E20	4.50860315083869E20	3.25493645355771E20	0.0252958070420227	1.68379150386732E20	0.0253459971353601	1.19765101199468E20
0.0253076054594863	2.86537899486568E20	4.30514366908198E20	4.50695104639634E20	3.24512439882395E20	0.0254845817214408	1.67558545956927E20	0.0255351463677135	1.19146026099435E20
0.0254950692036307	2.87212823748537E20	4.31030409553616E20	4.50536676676345E20	3.23549783797871E20	0.0256733564008589	1.66753169044682E20	0.0257242956000669	1.18539062002646E20
0.025682532947775	2.87883462963025E20	4.31546697749046E20	4.50385187180261E20	3.22607335871468E20	0.025862131080277	1.65962389517714E20	0.0259134448324204	1.17945928605853E20
0.0258699966919194	2.88549792835878E20	4.32063218468399E20	4.50240636151382E20	3.21682082336825E20	0.026050905759695	1.65185577243737E20	0.0261025940647738	1.17363699036869E20
0.0260574604360637	2.89213422922605E20	4.32579958685584E20	4.50103023589709E20	3.20773609021028E20	0.0262396804391131	1.64425789024016E20	0.0262917432971272	1.16791922228473E20
0.0262449241802081	2.89873586192931E20	4.33096905374515E20	4.4997234949524E20	3.19881501751163E20	0.0264284551185312	1.63682589933806E20	0.0264808925294807	1.16230147113446E20
0.0264323879243524	2.90529979848565E20	4.336140455091E20	4.49848613867978E20	3.19005346354315E20	0.0266172297979493	1.62953297733439E20	0.0266700417618341	1.15677922624567E20
0.0266198516684968	2.91182629711345E20	4.34130581754436E20	4.4973181670792E20	3.18144728657571E20	0.0268060044773674	1.62237430150255E20	0.0268591909941875	1.15134797694616E20
0.0268073154126411	2.91831558735612E20	4.34646819177772E20	4.49621699431005E20	3.17299234488017E20	0.0269947791567854	1.61534504911593E20	0.027048340226541	1.14600321256372E20
0.0269947791567854	2.92476787008208E20	4.35162921348888E20	4.49515602724622E20	3.16468449672738E20	0.0271835538362035	1.60844039744795E20	0.0272374894588944	1.14074042242614E20
0.0271822429009298	2.93118331748476E20	4.35678852549175E20	4.49415826712509E20	3.15651960038821E20	0.0273723285156216	1.60165552377201E20	0.0274266386912478	1.13557488262505E20
0.0273697066450741	2.9375620730826E20	4.36194577060027E20	4.49322330421038E20	3.14849351413351E20	0.0275611031950397	1.59498560536151E20	0.0276157879236013	1.13053346656059E20
0.0275571703892185	2.94390425171905E20	4.36710059162835E20	4.49235072876586E20	3.14060209623415E20	0.0277498778744578	1.58842581948985E20	0.0278049371559547	1.1255814427037E20
0.0277446341333628	2.95020993956257E20	4.37225263138992E20	4.49154013105525E20	3.13284120496098E20	0.0279386525538758	1.58197134343044E20	0.0279940863883081	1.12071632292676E20
0.0279320978775072	2.95647919410665E20	4.37740153269891E20	4.49079110134232E20	3.12520669858485E20	0.0281274272332939	1.57561735445669E20	0.0281832356206616	1.11593561910214E20
0.0281195616216515	2.96271204416976E20	4.38254693836923E20	4.49010322989081E20	3.11769443537664E20	0.028316201912712	1.56940348443485E20	0.028372384853015	1.11123684310221E20
0.0283070253657958	2.96890919071046E20	4.38768849121482E20	4.48947610696445E20	3.11035048473747E20	0.0285049765921301	1.5633071572411E20	0.0285615340853684	1.10661750679933E20
0.0284944891099402	2.97507462133353E20	4.39282583404958E20	4.48890932282701E20	3.10313636809001E20	0.0286937512715482	1.55731657256676E20	0.0287506833177219	1.10207512206587E20
0.0286819528540845	2.981205618392E20	4.39795774200286E20	4.48840246774222E20	3.09604951726567E20	0.0288825259509662	1.55142876488767E20	0.0289398325500753	1.09760720077421E20
0.0288694165982289	2.9873024342804E20	4.40308407538093E20	4.48795513197384E20	3.08908737678831E20	0.0290713006303843	1.54564076867966E20	0.0291289817824287	1.09322423722817E20
0.0290568803423732	2.99336531468134E20	4.40820460577471E20	4.4875669057856E20	3.08224739118177E20	0.0292600753098024	1.53994961841857E20	0.0293181310147822	1.08894767736287E20
0.0292443440865176	2.99939449856562E20	4.41331891518518E20	4.48723737944126E20	3.07552700496991E20	0.0294488499892205	1.53435234858023E20	0.0295072802471356	1.08475460288171E20
0.0294318078306619	3.00539021819213E20	4.41842658561335E20	4.48696614320456E20	3.06892366267657E20	0.0296376246686386	1.52884599364049E20	0.029696429479489	1.08064457868962E20
0.0296192715748062	3.01135269910792E20	4.4235271990602E20	4.48675278733925E20	3.06243480882562E20	0.0298263993480566	1.52342758807518E20	0.0298855787118425	1.07661722675066E20
0.0298067353189506	3.01728216014817E20	4.42862033752675E20	4.48659690210907E20	3.0560578879409E20				
0.0299941990630949	3.02317881343619E20